PSA -syregenerator för halvledare

Name: China Custom PSA Oxygen Generator för halvledarleverantörer Factory - grossisttjänst
Brand: NEWTEK
SKU: 265606167

I samband med halvledartillverkningens extremt höga krav för gasrenhet och stabilitet använder PSA-syregeneratorn trycksvängad adsorption (PSA) -teknologi, använder luft som råmaterial och drar nytta av skillnaden i gasadsorptionskapacitet för adsorbenten under olika tryck för att effektivt separera syften med hög enhet. Syregeneratorn kan mata ut syre med exakt renhet och stabilt flöde, uppfylla de stränga kraven för syre i alla aspekter av halvledartillverkning från skivbehandling till chipförpackningar. Utrustningen har en hög grad av automatisering, kan fungera stabilt under lång tid, minska driftskostnaderna och underhållskostnaderna och kan flexibelt justera olika parametrar för att skapa en pålitlig, effektiv och ekonomisk syretillförsellösning för halvledartillverkare, vilket hjälper halvledarindustrin att förbättra produktionseffektiviteten och produktkvaliteten.

Skicka förfrågan

Beskrivning

Tekniska parametrar

Varför behöver halvledarindustrin PSA -syregeneratorer?

Gasförsörjning med hög renhet:Halvledartillverkning har strikta krav på gasrenhet, och syre med hög renhet är nödvändig för litografi, rengöring och andra länkar. Med hjälp av trycksvingadsorptionsteknik producerar PSA -syregenerator syre med en renhet av 95%± 3%, vilket uppfyller kraven för bildning av oxidskikt och skivrengöring och undviker risken för föroreningar av traditionell gascylinder syretillförsel.
Se till att processstabilitet:Halvledarproduktionslinjer kräver en kontinuerlig och stabil gasförsörjning. PSA -syregenerator använder dubbla adsorptionstorn för att arbeta växelvis, och genom PLC: s intelligent kontroll kan den uppnå 24- timme oavbruten syretillförsel, undvika produktionsavbrott orsakade av manuell flaskbyte och anpassas till processer som är känsliga för lufttryck såsom tunnfilmavlagring och etsning.
Minska kostnaderna och optimera utrymmet:Jämfört med flytande syreförvaringstankar och högtrycksgascylindrar producerar PSA-syregeneratorer syre på plats, vilket kraftigt minskar transport- och lagringskostnaderna. Den har ett litet fotavtryck och stöder modulär expansion, som uppfyller behoven av att maximera rymdutnyttjandet i rena workshops av halvledarfabriker. Den långsiktiga användningskostnaden är cirka 20% lägre än den traditionella metoden.
Anpassa sig till specialprocesser:I avancerade processer kräver vissa speciella processer exakt kontroll av syrekoncentrationen. PSA -syregeneratorn kan flexibelt justera syreutgångsrenheten (95%-99. 9%) genom att justera adsorptionstrycket och molekylsiktförhållandet för att uppfylla de speciella processkraven för 3D NAND -flashminnetillverkning.
Miljövänligt och lätt att underhålla:PSA -teknik kräver inte kemiska reagens, och syreproduktionsprocessen avger inte skadliga ämnen, vilket uppfyller miljöskyddsstandarderna för halvledarindustrin. Utrustningen använder rostfritt stål i matkvalitet och självrengörande molekylsiktar, med en underhållscykel på upp till 3-5 år, och är lämplig för tillverkningsmiljöer med hög renhet.

Gratis konsultation

Why Does The Semiconductor Industry Need PSA Oxygen Generators?

kategori	Parameterinformation
Syre renhet	93% -99. 5% (ULPA -filtreringssystem kan anpassas, föroreningsinnehåll mindre än eller lika med 1ppb)
Uttryck	0. 5-1. 5MPA (justerbar, anpassad till luftintagstandarden för halvledarutrustning)
Flödesområde	10-5000 nm³/h (stöder parallell expansion av flera enheter)
Daggpunkt	Mindre än eller lika med -70 examen (för att förhindra att vattenånga förorenar processmiljön)
Energieffektivitet	Mindre än eller lika med 0. 38KWh/nm³ (högeffektiv variabel frekvensdrivning, energibesparande mer än 30%)
Bullernivå	Mindre än eller lika med 65dB (låg vibrationsstruktur + ljudisolerat skal, i linje med klass 1000 rena rumstandarder)

Kärnfördelarna med PSA -syregenerator

99% PSA Oxygen Generator For Gold Mining

Ultrahög renhetsgaranti
Dubbelskiktsmolekylsiktbädd och katalytisk oxidationsenhet används för att djupt avlägsna föroreningar såsom kolväten och CO₂, och syrenheten når mer än 99,5%, vilket möter semi F20-standarden. Inbyggd realtidsanalysator online, datasynkronisering till fabrikens SCADA-system för att säkerställa processstabilitet.

Intelligent kontroll och redundant design
Integrerad PLC+HMI-kontrollsystem, stöder fjärrövervakning, feldiagnos i fel och nödomkoppling (dubbel torn redundant adsorption). Automatisk tryckkompensationsteknik för att hantera den omedelbara efterfrågan på hög flödesbehov av halvledarutrustning.

Energibesparande lösning
VPSA (Vacuum Pressure Swing Adsorption) Synergistisk teknik minskar energiförbrukningen, vilket sparar 15% -20% Energi jämfört med traditionell PSA.optionell återvinningsmodul för avfall för att minska värmebelastningen.

Ren rumskompatibilitet
All rostfritt stålflödeskanal + Nano -beläggning för att undvika metalljonföroreningar; Zero läckages tätningsdesign, godkänd iso 8573-1 klass 0 certifiering.

PSA syre växttyper

Modulutrustning

Tvillingtornutrustning

Behållarutrustning

				NTK95 Series PSA Oxygen Generator Selection
Inga.	Modeller	Kapacitet (Nm3/h)	Renhet	Kraftförbrukning av 1nm3 syre producerad (kW/h)	Antal flaskor flödet på 12 timmar (datorer)	Operatören behövs
1	Ntk 95-5 p	5	95%+-1%	3.54	10	2
2	Ntk 95-10 p	10	95%+-1%	2.52	20	2
3	Ntk 95-15 p	15	95%+-1%	2.31	30	2
4	Ntk 95-20 p	20	95%+-1%	2.13	40	2
5	Ntk 95-25 p	25	95%+-1%	2.01	50	2
6	Ntk 95-30 p	30	95%+-1%	2.09	60	2
7	Ntk 95-40 p	40	95%+-1%	1.81	80	2
8	Ntk 95-50 p	50	95%+-1%	1.94	100	2
9	Ntk 95-60 p	60	95%+-1%	1.62	120	2
10	Ntk 95-80 p	80	95%+-1%	1.92	160	2
11	Ntk 95-100 p	100	95%+-1%	1.83	200	2

Vanliga frågor

1. Hur hög kan syre -renheten vara och uppfyller kraven för tillverkning av halvledartillverkning?
Vår PSA -syregenerator för halvledare kan rutinmässigt producera syre med en renhet av 95%± 3%. För vissa processer som kräver extremt hög syrerenhet, genom att justera utrustningsparametrarna, kan syreutgången renhet kontrolleras flexibelt inom intervallet 95% - 99. 9%, helt uppfyller de stränga kraven för gasrenhet i kärnlänkar som halvledaritografi, rengöring och oxidation.

2. Hur stabil är utrustningen och kan den säkerställa kontinuerlig drift av halvledarproduktionslinjen?
Utrustningen antar ett dubbelt adsorptionstorn som växelvis arbetsläge, i kombination med ett PLC -intelligent kontrollsystem, för att uppnå 24- timme oavbruten och stabil syretillförsel. Detta automatiserade driftsläge undviker gasförsörjningsavbrott orsakade av manuell flaskbyte, ger tillförlitlig och stabil gasförsörjning för processer som tunnfilmavlagring och etsning som är känsliga för lufttryck och effektivt minskar risken för produktionsavbrott orsakade av gasförsörjningsproblem.

3. Jämfört med traditionella syretillförselmetoder, vad är kostnaden för användning?
Jämfört med flytande syreförvaringstankar eller högtrycksgascylindrar antar vår PSA-syregenerator på plats på plats syreproduktionsläge, vilket i hög grad sparar syretransport och lagringskostnader. Utrustningen upptar ett litet område och kan utökas modulärt, vilket minskar hyreskostnaderna. På lång sikt är kostnaden cirka 20% lägre än den traditionella syretillförselmetoden, vilket sparar driftskostnaderna avsevärt.

4. Är underhållet av utrustningen komplicerad? Hur lång är underhållscykeln?
Utrustningen är lätt att underhålla med hjälp av matrostfritt stål och självrengöring av molekylsiktar, vilket kraftigt minskar underhållsarbetsbelastningen. Under normala omständigheter är underhållscykeln så länge som 3-5 år, och vi är utrustade med ett professionellt team efter försäljning för att ge teknisk support när som helst för att hjälpa dig att lösa problem under drift av utrustningen.

Handla nu för att säkra din syreförsörjningskedja

✅ Anpassade lösningar:
Berätta din sängkapacitet och topp efterfrågan på ett skräddarsytt förslag.
✅ Snabb leverans:
Förkonstruerade moduler som skickas under 8-12 veckor.
✅ Finansieringsalternativ:
Hyresavtal tillgängliga planer.

Telefonnummer

+86 15888864725

Whatsapp nummer

+86 15888864725

E-post

sales@newtek-group.com

NEWTEK